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科威勒微型氣體流量傳感器：FGM210氣體質(zhì)量流量計(jì)系列產(chǎn)品是采用*流量傳感器芯片，結(jié)合 32位高速數(shù)字處理電路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設(shè)計(jì)，所開(kāi)發(fā)的大量程、高可靠的傳感器微系統(tǒng)模組，具有低功耗（典型80mW)、大量程10-300SLM、快速響應(yīng)（典型5ms）等優(yōu)點(diǎn)。